|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
226607 |
| 005 |
20240131103029.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\246984
|
| 090 |
|
|
|a 226607
|
| 100 |
|
|
|a 20121123d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние ионной имплантации на поверхностную проводимость органических диэлектриков
|f Ю. М. Анненков, В. Ф. Пичугин, А. П. Суржиков
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\224059
|t Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
|o всесоюзная конференция
|o тезисы оригинальных докладов
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов; под ред. В. И. Зиненко
|v С. 175
|n [Б. и.]
|d 1987
|p 279 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Анненков
|b Ю. М.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1940-
|g Юрий Михайлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25662
|
| 701 |
|
1 |
|a Пичугин
|b В. Ф.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1944-
|g Владимир Федорович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824
|
| 701 |
|
1 |
|a Суржиков
|b А. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1951-
|g Анатолий Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22010
|9 9307
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121123
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130508
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
