MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 223605
005 20231031200235.0
010 |a 5339002470 
020 |a RU  |b 90-2084 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\243865 
090 |a 223605 
100 |a 20121012d1989 k a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Пленочные токопроводящие системы СБИС  |f А. П. Достанко, В. В. Баранов, В. В. Шаталов  |g Под ред. Ю. Д. Чистякова 
210 |a Минск  |c Вышэйшая школа  |d 1989 
215 |a 237,[1] с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр.: с. 225-233 (173 назв.) 
320 |a Предм. указ.: с. 234-237. 
610 1 |a микроэлектронные схемы 
610 1 |a интегральные схемы 
610 1 |a СБИС 
610 1 |a токопроводящие системы 
610 1 |a пленочные системы 
610 1 |a слои 
675 |a 621.382.049.771  |z rus 
700 1 |a Достанко  |b А. П.  |g Анатолий Павлович  |4 070 
701 1 |a Баранов  |b В. В.  |g Валентин Владимирович 
701 1 |a Шаталов  |b В. В.  |g Виктор Васильевич 
702 1 |a Чистяков  |b Ю. Д.  |4 340 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20121012 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20121020  |g RCR 
942 |c BK