|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
223304 |
| 005 |
20231101230521.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785915591195
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\243546
|
| 090 |
|
|
|a 223304
|
| 100 |
|
|
|a 20121009d2012 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Инженерные основы измерений нанометровой точности
|e пер. с англ.
|f Р. К. Лич
|
| 210 |
|
|
|a Долгопрудный
|c Интеллект
|d 2012
|
| 215 |
|
|
|a 400 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 330 |
|
|
|a Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс. Для студентов и преподавателей технических университетов, специалистов промышленных предприятий, инженеров-разработчиков и исследователей.
|
| 606 |
1 |
|
|a Метрология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43497
|9 62988
|
| 610 |
1 |
|
|a инженерная нанометрология
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a точность
|
| 610 |
1 |
|
|a неопределенность
|
| 610 |
1 |
|
|a лазеры
|
| 610 |
1 |
|
|a прецизионные средства
|
| 610 |
1 |
|
|a интерферометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a длина
|
| 610 |
1 |
|
|a перемещения
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностный рельеф
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические профилометры
|
| 610 |
1 |
|
|a сканирующая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a атомно-силовая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a целые изображения
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a координатная метрология
|
| 610 |
1 |
|
|a силы
|
| 610 |
1 |
|
|a массы
|
| 610 |
1 |
|
|a макрообъекты
|
| 610 |
1 |
|
|a координатно-измерительные машины
|
| 675 |
|
|
|a 006
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Лич
|b Р. К.
|g Ричард К.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121009
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150428
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Метрология, стандартизация и сертификация
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 128/20121009
|d 5
|e 1210,00
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|f УФ:3
|
