MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 223160
005 20231031200147.0
020 |a RU  |b 90-10692 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\243398 
090 |a 223160 
100 |a 20121005d1989 m y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Физические основы функциональной микроэлектроники  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ); под ред. Т. Д. Шермергора 
210 |a Москва  |c Изд-во МИЭТ  |d 1989 
215 |a 132 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце статей 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a физические основы 
610 1 |a приборы 
610 1 |a структуры 
610 1 |a физические явления 
610 1 |a применение 
610 1 |a электрофизические свойства 
610 1 |a оптические свойства 
610 1 |a магнитные свойства 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a сверхпроводимость 
610 1 |a лазерное воздействие 
610 1 |a исследования 
675 |a 621.382.049.77:53  |v 3 
702 1 |a Шермергор  |b Т. Д.  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)  |c (1965-1992)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20121005 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20140214  |g RCR 
942 |c BK