|
|
|
|
| LEADER |
00000n m0a2200000 4500 |
| 001 |
219919 |
| 005 |
20231101230308.0 |
| 010 |
|
|
|a 5745501359
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 90-403
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\240026
|
| 090 |
|
|
|a 219919
|
| 100 |
|
|
|a 20120731d1989 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике
|e сборник научных трудов
|f Воронежский государственный университе ; под ред. Я. А. Угая
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж.
|c Изд-во Воронежского ун-та
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 179 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химия
|
| 610 |
1 |
|
|a приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a коррозия
|
| 702 |
|
1 |
|a Угай
|b Я. А.
|g Яков Александрович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Воронежский государственный университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\4805
|9 24026
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120731
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121119
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
