|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
219671 |
| 005 |
20260204130518.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\239758
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\239755
|
| 090 |
|
|
|a 219671
|
| 100 |
|
|
|a 20120712d2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drnn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур
|f С. Ю. Хаханин
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (305 Кб)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного листа
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\74583
|t Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
|o материалы III Всероссийской научной конференции, Томск, 2-4 сентября 2004 г.
|f Российское химическое общество им. Д. И. Менделеева; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий. Всероссийская научная конференция; Российская Академия естествознания; Администрация Томской области; ООО "Томскнефтехим"; ЗАО "Метанол"; Томский политехнический университет
|v [С. 309-310]
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a реагенты
|
| 610 |
1 |
|
|a рекуперация
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a детали
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 700 |
|
1 |
|a Хаханин
|b С. Ю.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120529
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191230
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2004/K01/41215.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
