Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
| Parent link: | Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий.— 2004.— [С. 309-310] |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2004/K01/41215.pdf |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=219671 |
| Beschreibung: | 1 файл (305 Кб) |
|---|---|
| Zusammenfassung: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации |