Хаханин С. Ю. (2004). Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур. 2004.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Хаханин С. Ю. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур. 2004, 2004.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Хаханин С. Ю. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур. 2004, 2004.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.