Хаханин С. Ю. (2004). Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий. 2004.
Chicago Style (17th ed.) CitationХаханин С. Ю. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий. 2004, 2004.
ציטוט MLAХаханин С. Ю. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технологиях очистки поверхности полупроводниковых структур; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий. 2004, 2004.
אזהרה: ציטוטים אלה לעיתים לא מדויקים ב 100%.