Вакуумная техника: учебное пособие - Попов А. Н. Александр Николаевич (Высшее образование. Бакалавриат)
Рассмотрены основные физико-химические процессы, протекающие в вакууме. Описаны методы измерения низких давлений, принципы действия вакуумных насосов и основные типы вакуумных систем. Лабораторные работы охватывают основные темы курса «Вакуумная техника». Для студентов механических, технологических, физических и других факультетов вузов. Может быть полезно аспирантам, преподавателям и инженерно-техническим специалистам, работа которых связана с вакуумной техникой.