Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 320, № 3 : Химия.— 2012.— [С. 62-66] |
|---|---|
| Prif Awdur: | |
| Awduron Eraill: | |
| Crynodeb: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении. |
| Iaith: | Rwseg |
| Cyhoeddwyd: |
2012
|
| Cyfres: | Химия |
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4164/1/bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf |
| Fformat: | Electronig Pennod Llyfr |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216997 |
Eitemau Tebyg
Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния
gan: Засухин Д. И.
Cyhoeddwyd: (2012)
gan: Засухин Д. И.
Cyhoeddwyd: (2012)
Способы получения высокодисперсного диоксида кремния
gan: Кутищева Е. С. Елизавета Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2021)
gan: Кутищева Е. С. Елизавета Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2021)
Электронные и оптические процессы в алмазе
gan: Вавилов В. С. Виктор Сергеевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1985)
gan: Вавилов В. С. Виктор Сергеевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1985)
Кислотно-основные свойства диоксида кремния
Cyhoeddwyd: (2002)
Cyhoeddwyd: (2002)
Синтез наноразмерного диоксида кремния в цепном плазмохимическом процессе
gan: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Cyhoeddwyd: (2004)
gan: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Cyhoeddwyd: (2004)
Технологические аспекты получения наночастиц диоксида кремния
gan: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Cyhoeddwyd: (2015)
gan: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Cyhoeddwyd: (2015)
Наноструктурированные порошки диоксида кремния, легированные редкоземельными элементами
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Получение высокочистого диоксида кремния из жидкого стекла
gan: Салимжанова М. Н.
Cyhoeddwyd: (2019)
gan: Салимжанова М. Н.
Cyhoeddwyd: (2019)
Cинтез наноразмерного диоксида кремния в цепном плазмохимическом процессе
gan: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Cyhoeddwyd: (2004)
gan: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Cyhoeddwyd: (2004)
Исследование длительности процесса плазмохимического синтеза наноразмерного диоксида кремния
gan: Исакова Ю. И. Юлия Ивановна
Cyhoeddwyd: (2011)
gan: Исакова Ю. И. Юлия Ивановна
Cyhoeddwyd: (2011)
Способ получения высокочистых аморфных диоксида кремния и углерода пиролизом рисовой шелухи
gan: Данг Нян Тхонг
Cyhoeddwyd: (2014)
gan: Данг Нян Тхонг
Cyhoeddwyd: (2014)
Получение наноразмерного диоксида кремния в плазме дугового разряда
gan: Космачев П. В.
Cyhoeddwyd: (2017)
gan: Космачев П. В.
Cyhoeddwyd: (2017)
Разработка ресурсосберегающей технологии получения диоксида кремния из растительного сырья
gan: Нгуен Тхи Нгок Ань
Cyhoeddwyd: (2013)
gan: Нгуен Тхи Нгок Ань
Cyhoeddwyd: (2013)
Разработка ресурсосберегающей технологии получения диоксида кремния из растительного сырья
gan: Нгуен Тхи Нгок Ань
Cyhoeddwyd: (2013)
gan: Нгуен Тхи Нгок Ань
Cyhoeddwyd: (2013)
Влияние энергии термической плазмы на фазовые переходы нанодисперсного диоксида кремния
gan: Шеховцов В. В. Валентин Валерьевич
Cyhoeddwyd: (2022)
gan: Шеховцов В. В. Валентин Валерьевич
Cyhoeddwyd: (2022)
Физические основы электроники учебное пособие для обучающихся по образовательным программам высшего образования по направлениям подготовки 11.03.02 инфокоммуникационные технологии и системы связи, 11.03.03 конструирование и технология электронных средств и 11.03.04 электроника и наноэлектроника
gan: Булатов В. Н.
Cyhoeddwyd: (Оренбург, ОГУ, 2019)
gan: Булатов В. Н.
Cyhoeddwyd: (Оренбург, ОГУ, 2019)
Исследования процесса получения диоксида кремния из жидкофазного сырья
gan: Казанцова В. А.
Cyhoeddwyd: (2019)
gan: Казанцова В. А.
Cyhoeddwyd: (2019)
Модификация высокодисперсного диоксида кремния норборнен-2-ил-триметоксисиланом
gan: Федецов С. Ю.
Cyhoeddwyd: (2023)
gan: Федецов С. Ю.
Cyhoeddwyd: (2023)
Импульсный плазмохимический синтез ультрадисперсного диоксида кремния из металлоорганического прекурсора
Cyhoeddwyd: (2012)
Cyhoeddwyd: (2012)
Оценка степени кристалличности природного и синтетического диоксида кремния
Cyhoeddwyd: (2023)
Cyhoeddwyd: (2023)
Фрагменты картин известных художников в оформлении запонок и зажима
gan: Гаврина И. А.
Cyhoeddwyd: (2014)
gan: Гаврина И. А.
Cyhoeddwyd: (2014)
Получение композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
gan: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Cyhoeddwyd: (2014)
gan: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Cyhoeddwyd: (2014)
Хлораммонийное разделение оксида магния и кремния, полученных методом магнетермии диоксида кремния
Cyhoeddwyd: (2011)
Cyhoeddwyd: (2011)
Исследование распределения наночастиц диоксида кремния по размерам в зависимости от режима плазмохимического синтеза
gan: Пономарёв Д. В. Денис Владимирович
Cyhoeddwyd: (2004)
gan: Пономарёв Д. В. Денис Владимирович
Cyhoeddwyd: (2004)
Исследование физиче ских свойств мезопористого диоксида кремния, допированного марганцем, для применения в медицине
gan: Злыгостева О. А.
Cyhoeddwyd: (2017)
gan: Злыгостева О. А.
Cyhoeddwyd: (2017)
Синтез нанодисперсного порошка диоксида кремния в плазменном реакторе при атмосферном давлении
gan: Космачев П. В.
Cyhoeddwyd: (2016)
gan: Космачев П. В.
Cyhoeddwyd: (2016)
Исследование влияния различных факторов на величину удельной поверхности диоксида кремния
gan: Панина О. Д.
Cyhoeddwyd: (2023)
gan: Панина О. Д.
Cyhoeddwyd: (2023)
Исследование структуры полимерного композиционного материала с добавками наночастиц диоксида кремния методами электронной микроскопии
gan: Теплых А. М.
Cyhoeddwyd: (2010)
gan: Теплых А. М.
Cyhoeddwyd: (2010)
Однофакторный анализ свойств нанопорошка диоксида кремния, синтезированного плазмохимическим методом
gan: Волжанина Е. С.
Cyhoeddwyd: (2016)
gan: Волжанина Е. С.
Cyhoeddwyd: (2016)
Плазмохимический синтез наноразмерного диоксида кремния из металлоорганического соединения Si(C2H5O)4
gan: Холодная Г. Е. Галина Евгеньевна
Cyhoeddwyd: (2012)
gan: Холодная Г. Е. Галина Евгеньевна
Cyhoeddwyd: (2012)
Электролитическое осаждение диоксида кремния из продуктов переработки минерального сырья
gan: Селин П. Е.
Cyhoeddwyd: (2023)
gan: Селин П. Е.
Cyhoeddwyd: (2023)
Исследование структурно-морфологических характеристик наночастиц диоксида кремния, полученного плазменно-дуговым методом
gan: Семеновых М. А.
Cyhoeddwyd: (2018)
gan: Семеновых М. А.
Cyhoeddwyd: (2018)
Получение кремния для солнечной энергетики
gan: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Cyhoeddwyd: (2010)
gan: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Cyhoeddwyd: (2010)
Получение кремния методом механохимического синтеза
Cyhoeddwyd: (2012)
Cyhoeddwyd: (2012)
Самораспространяющийся высокотемпературный синтез композиционного керамического порошка на основе нитрида кремния и диоксида циркония; Современные техника и технологии; Т. 2
gan: Ленчукова Т. В.
Cyhoeddwyd: (2008)
gan: Ленчукова Т. В.
Cyhoeddwyd: (2008)
Тетрафторид кремния: Перспективы переработки и использования в качестве химического реагента (Обзор)
gan: Гельмбольт В. О.
Cyhoeddwyd: (2004)
gan: Гельмбольт В. О.
Cyhoeddwyd: (2004)
Композиционные материалы на основе цемента с нанодисперсным диоксидом кремния
Cyhoeddwyd: (2017)
Cyhoeddwyd: (2017)
Радиолиз углеводородов в жидкой фазе (современное состояние вопроса)
gan: Сараева В. В. Валентина Викторовна
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1986)
gan: Сараева В. В. Валентина Викторовна
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1986)
Фтороаммонийный способ получения солнечного кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
gan: Андреев А. А. Артем Андреевич
Cyhoeddwyd: (2008)
gan: Андреев А. А. Артем Андреевич
Cyhoeddwyd: (2008)
Фотохимия полимерных донорно-акцепторных комплексов
gan: Ванников А. В. Анатолий Вениаминович
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1984)
gan: Ванников А. В. Анатолий Вениаминович
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1984)