Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях

Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях

Bibliographic Details
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 320, № 3 : Химия.— 2012.— [С. 62-66]
Main Author: Гудымович Е. Н.
Other Authors: Ванифатьева Е. Ю.
Summary:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.
Published: 2012
Series:Химия
Subjects:
фототравление
доноры
акцепторы
диоксид кремния
радикалы
десольватация
протофильные реагенты
экспериментальные результаты
фторсодержащие соединения
электронный ресурс
Online Access:http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4164/1/bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216997

Similar Items

Similar Items