Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях

Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 320, № 3 : Химия.— 2012.— [С. 62-66]
المؤلف الرئيسي:	Гудымович Е. Н.
مؤلفون آخرون:	Ванифатьева Е. Ю.
الملخص:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.
اللغة:	الروسية
منشور في:	2012
سلاسل:	Химия
الموضوعات:	фототравление доноры акцепторы диоксид кремния радикалы десольватация протофильные реагенты экспериментальные результаты фторсодержащие соединения электронный ресурс
الوصول للمادة أونلاين:	http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4164/1/bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf
التنسيق:	الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216997

مواد مشابهة

Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния
حسب: Засухин Д. И.
منشور في: (2012)

Способы получения высокодисперсного диоксида кремния
حسب: Кутищева Е. С. Елизавета Сергеевна
منشور في: (2021)

Электронные и оптические процессы в алмазе
حسب: Вавилов В. С. Виктор Сергеевич
منشور في: (Москва, Наука, 1985)

Кислотно-основные свойства диоксида кремния
منشور في: (2002)

Технологические аспекты получения наночастиц диоксида кремния
حسب: Власов В. А. Виктор Алексеевич
منشور في: (2015)

Синтез наноразмерного диоксида кремния в цепном плазмохимическом процессе
حسب: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
منشور في: (2004)

Наноструктурированные порошки диоксида кремния, легированные редкоземельными элементами
منشور في: (2011)

Получение высокочистого диоксида кремния из жидкого стекла
حسب: Салимжанова М. Н.
منشور في: (2019)

Cинтез наноразмерного диоксида кремния в цепном плазмохимическом процессе
حسب: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
منشور في: (2004)

Исследование длительности процесса плазмохимического синтеза наноразмерного диоксида кремния
حسب: Исакова Ю. И. Юлия Ивановна
منشور في: (2011)

Способ получения высокочистых аморфных диоксида кремния и углерода пиролизом рисовой шелухи
حسب: Данг Нян Тхонг
منشور في: (2014)

Физические основы электроники учебное пособие для обучающихся по образовательным программам высшего образования по направлениям подготовки 11.03.02 инфокоммуникационные технологии и системы связи, 11.03.03 конструирование и технология электронных средств и 11.03.04 электроника и наноэлектроника
حسب: Булатов В. Н.
منشور في: (Оренбург, ОГУ, 2019)

Получение наноразмерного диоксида кремния в плазме дугового разряда
حسب: Космачев П. В.
منشور في: (2017)

Разработка ресурсосберегающей технологии получения диоксида кремния из растительного сырья
حسب: Нгуен Тхи Нгок Ань
منشور في: (2013)

Разработка ресурсосберегающей технологии получения диоксида кремния из растительного сырья
حسب: Нгуен Тхи Нгок Ань
منشور في: (2013)

Влияние энергии термической плазмы на фазовые переходы нанодисперсного диоксида кремния
حسب: Шеховцов В. В. Валентин Валерьевич
منشور في: (2022)

Исследования процесса получения диоксида кремния из жидкофазного сырья
حسب: Казанцова В. А.
منشور في: (2019)

Модификация высокодисперсного диоксида кремния норборнен-2-ил-триметоксисиланом
حسب: Федецов С. Ю.
منشور في: (2023)

Импульсный плазмохимический синтез ультрадисперсного диоксида кремния из металлоорганического прекурсора
منشور في: (2012)

Оценка степени кристалличности природного и синтетического диоксида кремния
منشور في: (2023)

Получение композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
حسب: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
منشور في: (2014)

Хлораммонийное разделение оксида магния и кремния, полученных методом магнетермии диоксида кремния
منشور في: (2011)

Фрагменты картин известных художников в оформлении запонок и зажима
حسب: Гаврина И. А.
منشور في: (2014)

Синтез нанодисперсного порошка диоксида кремния в плазменном реакторе при атмосферном давлении
حسب: Космачев П. В.
منشور في: (2016)

Исследование распределения наночастиц диоксида кремния по размерам в зависимости от режима плазмохимического синтеза
حسب: Пономарёв Д. В. Денис Владимирович
منشور في: (2004)

Исследование физиче ских свойств мезопористого диоксида кремния, допированного марганцем, для применения в медицине
حسب: Злыгостева О. А.
منشور في: (2017)

Исследование влияния различных факторов на величину удельной поверхности диоксида кремния
حسب: Панина О. Д.
منشور في: (2023)

Исследование структуры полимерного композиционного материала с добавками наночастиц диоксида кремния методами электронной микроскопии
حسب: Теплых А. М.
منشور في: (2010)

Однофакторный анализ свойств нанопорошка диоксида кремния, синтезированного плазмохимическим методом
حسب: Волжанина Е. С.
منشور في: (2016)

Плазмохимический синтез наноразмерного диоксида кремния из металлоорганического соединения Si(C2H5O)4
حسب: Холодная Г. Е. Галина Евгеньевна
منشور في: (2012)

Электролитическое осаждение диоксида кремния из продуктов переработки минерального сырья
حسب: Селин П. Е.
منشور في: (2023)

Исследование структурно-морфологических характеристик наночастиц диоксида кремния, полученного плазменно-дуговым методом
حسب: Семеновых М. А.
منشور في: (2018)

Получение кремния для солнечной энергетики
حسب: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
منشور في: (2010)

Получение кремния методом механохимического синтеза
منشور في: (2012)

Самораспространяющийся высокотемпературный синтез композиционного керамического порошка на основе нитрида кремния и диоксида циркония
حسب: Ленчукова Т. В.
منشور في: (2008)

Радиолиз углеводородов в жидкой фазе (современное состояние вопроса)
حسب: Сараева В. В. Валентина Викторовна
منشور في: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1986)

Тетрафторид кремния: Перспективы переработки и использования в качестве химического реагента (Обзор)
حسب: Гельмбольт В. О.
منشور في: (2004)

Композиционные материалы на основе цемента с нанодисперсным диоксидом кремния
منشور في: (2017)

Фтороаммонийный способ получения солнечного кремния
حسب: Андреев А. А. Артем Андреевич
منشور في: (2008)

Карбены как акцепторы галогенных связей
حسب: Антонкин Н. С. Никита Сергеевич
منشور في: (2022)