Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 3 : Химия

Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 3 : Химия

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 320, № 3 : Химия.— 2012.— [С. 62-66]
Main Author:	Гудымович Е. Н.
Other Authors:	Ванифатьева Е. Ю.
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.
Language:	Russian
Published:	2012
Series:	Химия
Subjects:	фототравление доноры акцепторы диоксид кремния радикалы десольватация протофильные реагенты экспериментальные результаты фторсодержащие соединения электронный ресурс
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4164/1/bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216997

Similar Items

Электронные и оптические процессы в алмазе
by: Вавилов В. С. Виктор Сергеевич
Published: (Москва, Наука, 1985)

Физические основы электроники учебное пособие для обучающихся по образовательным программам высшего образования по направлениям подготовки 11.03.02 инфокоммуникационные технологии и системы связи, 11.03.03 конструирование и технология электронных средств и 11.03.04 электроника и наноэлектроника
by: Булатов В. Н.
Published: (Оренбург, ОГУ, 2019)

Фрагменты картин известных художников в оформлении запонок и зажима; Молодежь и современные информационные технологии; Т. 2
by: Гаврина И. А.
Published: (2014)

Радиолиз углеводородов в жидкой фазе (современное состояние вопроса)
by: Сараева В. В. Валентина Викторовна
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1986)

Фотохимия полимерных донорно-акцепторных комплексов
by: Ванников А. В. Анатолий Вениаминович
Published: (Москва, Наука, 1984)

Карбены как акцепторы галогенных связей; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Антонкин Н. С. Никита Сергеевич
Published: (2022)

Синтез нового 2-OAc галактозилакцептора и его применение в получении сиалил-([альфа]2-3)-галактозного блока; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Нагорная М. О. Марина Олеговна
Published: (2018)

Исследование влияния внутренних доноров на структуру полипропилена; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
by: Исаева А. В.
Published: (2025)

Нуклеофильность золота при образовании галогенных связей; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Published: (2023)

Влияние температуры на параметры фосфоресценции и поглощения донора энергии в замороженных парафиновых растворах; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 7
by: Дерябин М. И.
Published: (2003)

Точная фотография. Технологические процессы изготовления микрометренных шкал и измерительных сеток фотографическим путем
by: Бурмистров Ф. Л.
Published: (Москва, Гособорониздат, 1939)

Синтез титанмагниевых катализаторов полимеризации пропилена: замещение нестереорегулирующих доноров на дибутилфталат; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Маслов Д. К.
Published: (2018)

Einfluss des externen donors auf den Prozess der Propylenpolymerisation; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
by: Tarnovskaya O. D.
Published: (2017)

Автоматизация деятельности отделения переливания крови г. Юрга; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
by: Милованова М. С.
Published: (2017)

Т. 2; Теория дефектов в твердых телах; Электронная структура дефектов в диэлектриках и полупроводниках
Published: (1978)

Примесное поглощение света с участием резонансных состояний мелких доноров в квантовых ямах; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 125, вып. 6
by: Алешкин В. Я.
Published: (2004)

Bifurcated Halogen Bonding Involving Diaryliodonium Cations as Iodine(III)-Based Double-[sigma]-Hole Donors; Crystal Growth & Design; Vol. 21, iss. 2
Published: (2021)

Фонды целевого капитала российских вузов: состояние и перспективы развития; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 6 : Экономика. Философия, социология и культурология
by: Никулина И. Е. Ирина Евгеньевна
Published: (2011)

Синтез и кристаллический дизайн новых доноров галогенных связей на основе фторированных арилиодидов; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Леднева А. И.
Published: (2022)

Введение в теорию абстрактных автоматов: учебное пособие для университетов
by: Кудрявцев В. Б. Валерий Борисович
Published: (Москва, Изд-во МГУ, 1985)

Донорно-акцепторные комплексы алкилтрифторборатов и азогетероциклов как прекурсоры радикалов; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Власенко Ю. А. Юлия Александровна
Published: (2021)

Материалы современной электроники и спинтроники: [монография]
Published: (Москва, Физматлит, 2018)

Фторсодержащие полимеры: сборник
Published: (Ташкент, [Б. и.], 1978)

Фторопласты
by: Паншин Ю. А. Юрий Александрович
Published: (Ленинград, Химия, 1978)

Соединение фтора. Синтез и применение: пер. с яп.
Published: (Москва, Мир, 1990)

Пути переработки и утилизации фторсодержащих отходов алюминиевой промышленности; Известия вузов. Химия и химическая технология; Т. 60, № 4
by: Петлин И. В. Илья Владимирович
Published: (2017)

Органическая химия свободных радикалов: монография
by: Розанцев Э. Г. Эдуард Григорьевич
Published: (Москва, Химия, 1979)

Улавливание и переработка фторсодержащих газов
by: Галкин Н. П. Николай Петрович
Published: (Москва, Атомиздат, 1975)

Геология месорождений фторсодержащего сырья
by: Самсонов Я. П. Яков Павлович
Published: (Москва, Недра, 1980)

Электронный спиновый резонанс в полупроводниках: сборник статей; пер. с англ.
Published: (Москва, Иностранная литература, 1962)

Исследование процесса разделения фторсодержащей смеси на таблетированном фториде кальция; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности (производство, наука, образование)
Published: (2004)

Промышленные фторорганические продукты: справочник
Published: (Ленинград, Химия, 1990)

Исследование комплексов с переносом заряда симм-тринитробензола: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.03
by: Прялкин Б. С. Борис Сергеевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1982)

Динамика состояния сосновых лесов при изменениях эмиссионной нагрузки; Сибирский экологический журнал; № 1
by: Михайлова Т. А.
Published: (2002)

Синтез перфторэфиров дициклопентадиена; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
by: Манзюк К. Е.
Published: (2022)

Формирование проводимости в фторсодержащих полимерах методом радиацианно-прививочной полимеризации; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
by: Дюсембекова А. А.
Published: (2016)

Фторопласты
by: Чегодаев Д. Д.
Published: (Ленинград, Госхимиздат, 1960)

Исследование влияния температурного режима на процесс хроматографического разделения газовых смесей с тетрафторидом углерода и гексафторидом серы; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Published: (2024)

Radio-chemical of fluorine-containing polymer "TEFLON-2M" for giving proton conducting properties; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Dyussembekova A. A.
Published: (2015)

Композиционные полимерные мембраны на основе сополимера VDF-TFE, сформированные электроспинингом; Современные материалы и технологии новых поколений
by: Твердохлебова Т. С. Тамара Сергеевна
Published: (2019)