Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 3 : Химия
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 320, № 3 : Химия.— 2012.— [С. 62-66] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Outros Autores: | |
| Resumo: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении. |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
2012
|
| Colecção: | Химия |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4164/1/bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf |
| Formato: | Recurso Electrónico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216997 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 216997 | ||
| 005 | 20231031194408.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\236973 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\236971 | ||
| 090 | |a 216997 | ||
| 100 | |a 20120530d2012 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях |b Электронный ресурс |f Е. Н. Гудымович, Е. Ю. Ванифатьева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (96 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Химия | |
| 230 | |a Электронные текстовые данные (1 файл : 96 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 66 (11 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\236341 |x 1684-8519 |t Т. 320, № 3 : Химия |v [С. 62-66] |d 2012 |p 150 с. | |
| 610 | 1 | |a фототравление | |
| 610 | 1 | |a доноры | |
| 610 | 1 | |a акцепторы | |
| 610 | 1 | |a диоксид кремния | |
| 610 | 1 | |a радикалы | |
| 610 | 1 | |a десольватация | |
| 610 | 1 | |a протофильные реагенты | |
| 610 | 1 | |a экспериментальные результаты | |
| 610 | 1 | |a фторсодержащие соединения | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 700 | 1 | |a Гудымович |b Е. Н. | |
| 701 | 1 | |a Ванифатьева |b Е. Ю. | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211229 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4164/1/bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf | |
| 942 | |c CF | ||