Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Institution som forfatter: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere: Сочугов Н. С. Николай Семенович, Соловьёв А. А. Андрей Александрович
Summary:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Sprog:russisk
Udgivet: Томск, Изд-во ТПУ, 2011
Fag:
Online adgang:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2012/m260.pdf
Format: Electronisk Bog
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216911

Lignende værker