Плазменные покрытия (свойства и применение), учебное пособие

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
مؤلف مشترك: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
مؤلفون آخرون: Сочугов Н. С. Николай Семенович, Соловьёв А. А. Андрей Александрович
الملخص:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
اللغة:الروسية
منشور في: Томск, Изд-во ТПУ, 2011
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2012/m260.pdf
التنسيق: الكتروني كتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216911

MARC

LEADER 00000nlm0a2200000 4500
001 216911
005 20240212095112.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\236886 
090 |a 216911 
100 |a 20120529d2011 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
135 |a drnn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Плазменные покрытия (свойства и применение)  |e учебное пособие  |f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв  |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) 
203 |a Текст  |c электронный 
210 |a Томск  |c Изд-во ТПУ  |d 2011 
300 |a Заглавие с титульного экрана 
300 |a Электронная версия печатной публикации 
330 |a В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. 
333 |a Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ 
337 |a Adobe Reader 
452 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\231198  |t Плазменные покрытия (свойства и применение)  |o учебное пособие  |f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв  |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |c Томск  |n Изд-во ТПУ  |d 2011  |p 135 с.  |a Кривобоков, Валерий Павлович 
606 1 |a Плазменное напыление  |x Физико-химические процессы  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48962  |9 67777 
610 1 |a плазменные технологии 
610 1 |a плазменные покрытия 
610 1 |a нанесение 
610 1 |a поверхности 
610 1 |a подготовка 
610 1 |a применение 
610 1 |a физические свойства 
610 1 |a химические свойства 
610 1 |a механические свойства 
610 1 |a оптические покрытия 
610 1 |a износостойкость 
610 1 |a углеродные покрытия 
610 1 |a коррозионно-эрозионностойкие покрытия 
610 1 |a алмазоподобные покрытия 
610 1 |a интерференционные зеркала 
610 1 |a интерференционные фильтры 
610 1 |a низкоэмиссионные покрытия 
610 1 |a гидрофобные поверхности 
610 1 |a гидрофильные покрытия 
610 1 |a декоративные покрытия 
610 1 |a учебные пособия 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
675 |a 621.793.74(075.8)  |v 3 
700 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Сочугов  |b Н. С.  |c доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета  |g Николай Семенович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27206 
701 1 |a Соловьёв  |b А. А.  |c российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии  |c доцент Томского политехнического университета  |g Андрей Александрович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |c (2009- )  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120116 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20120529  |g RCR 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2012/m260.pdf 
942 |c CF