Плазменные покрытия (свойства и применение), учебное пособие
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2012/m260.pdf |
| Format: | Electronic Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=216911 |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ |
|---|