|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
211632 |
| 005 |
20240212133948.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\231198
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\225378
|
| 090 |
|
|
|a 211632
|
| 100 |
|
|
|a 20120316d2011 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Плазменные покрытия (свойства и применение)
|e учебное пособие
|f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c Изд-во ТПУ
|d 2011
|
| 215 |
|
|
|a 135 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 131-135.
|
| 330 |
|
|
|a В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменное напыление
|x Физико-химические процессы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48962
|9 67777
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a подготовка
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a физические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a химические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a механические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a износостойкость
|
| 610 |
1 |
|
|a углеродные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a коррозионно-эрозионностойкие покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a алмазоподобные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a интерференционные зеркала
|
| 610 |
1 |
|
|a интерференционные фильтры
|
| 610 |
1 |
|
|a низкоэмиссионные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a гидрофобные поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a гидрофильные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a декоративные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Сочугов
|b Н. С.
|c доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета
|g Николай Семенович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27206
|
| 701 |
|
1 |
|a Соловьёв
|b А. А.
|c российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии
|c доцент Томского политехнического университета
|g Андрей Александрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120116
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131203
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
