Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
СПб., Лань, 2012
|
| Edizione: | 2-е изд., испр. |
| Serie: | Учебники для вузов. Специальная литература |
| Soggetti: | |
| Natura: | MixedMaterials Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=209177 |