|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
209177 |
| 005 |
20231101225522.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785811412907
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\228497
|
| 090 |
|
|
|a 209177
|
| 100 |
|
|
|a 20120209d2012 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология полупроводниковых материалов
|e учебное пособие
|f С. Е. Александров, Ф. Ф. Греков
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд., испр.
|
| 210 |
|
|
|a СПб.
|c Лань
|d 2012
|
| 215 |
|
|
|a 231 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Учебники для вузов. Специальная литература
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 227.
|
| 330 |
|
|
|a Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые материалы
|x Параметры
|x Измерение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50665
|9 69316
|
| 610 |
1 |
|
|a исходные вещества
|
| 610 |
1 |
|
|a глубокая очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a германий
|
| 610 |
1 |
|
|a алюминий
|
| 610 |
1 |
|
|a гелий
|
| 610 |
1 |
|
|a индий
|
| 610 |
1 |
|
|a фосфор
|
| 610 |
1 |
|
|a мышьяк
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Александров
|b С. Е.
|g Сергей Евгеньевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Греков
|b Ф. Ф.
|g Федор Федорович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120209
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150609
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Технология полупроводниковых материалов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 7/20120127
|d 5
|e 460,02
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|f УФ:3
|
| 959 |
|
|
|a 66/20120425
|d 5
|e 460,02
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|f УФ:3
|
