|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
205588 |
| 005 |
20231031190510.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 87-50096
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\224059
|
| 090 |
|
|
|a 205588
|
| 100 |
|
|
|a 20111212d1987 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
|e всесоюзная конференция
|e тезисы оригинальных докладов
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов; под ред. В. И. Зиненко
|
| 210 |
|
|
|a Черноголовка
|c [Б. и.]
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 279 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце статей
|
| 320 |
|
|
|a Авт. указ.: с. 269-279.
|
| 606 |
1 |
|
|a Твердые тела
|x Действие ионизирующих излучений
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58640
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a амортизация
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевые технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a перемешивание
|
| 610 |
1 |
|
|a конференции
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:539.1
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Зиненко
|b В. И.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\13268
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Ионно-лучевая модификация материалов
|b всесоюзная конференция
|e Черноголовка
|f 1987
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111212
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130516
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
