Академия наук СССР (АН СССР) Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов, Ионно-лучевая модификация материалов всесоюзная конференция, & Зиненко В. И. (1987). Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка: всесоюзная конференция тезисы оригинальных докладов. Черноголовка, [Б. и.], 1987.
Chicago Style (17th ed.) CitationАкадемия наук СССР (АН СССР) Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов, Ионно-лучевая модификация материалов всесоюзная конференция, and Зиненко В. И. Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка: всесоюзная конференция тезисы оригинальных докладов. Черноголовка, [Б. и.], 1987, 1987.
MLA (9th ed.) CitationАкадемия наук СССР (АН СССР) Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов, et al. Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка: всесоюзная конференция тезисы оригинальных докладов. Черноголовка, [Б. и.], 1987, 1987.