Технология производства полупроводниковых приборов

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Daljnji autori:	Скворцов А. М. Альберт Матвеевич
Jezik:	ruski
Izdano:	Ленинград, Энергия, 1968
Teme:	полупроводниковые приборы производство технология обработка интегральные схемы германий кремний диоды транзисторы окисные пленки фотолитография
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=205354

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	205354
005	20231031190437.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\223818
090			\|a 205354
100			\|a 20111208d1968 km y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Технология производства полупроводниковых приборов \|f Р. А. Гаврилов, А. М. Скворцов
210			\|a Ленинград \|c Энергия \|d 1968
215			\|a 240 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 229-237.
610	1		\|a полупроводниковые приборы
610	1		\|a производство
610	1		\|a технология
610	1		\|a обработка
610	1		\|a интегральные схемы
610	1		\|a германий
610	1		\|a кремний
610	1		\|a диоды
610	1		\|a транзисторы
610	1		\|a окисные пленки
610	1		\|a фотолитография
675			\|a 621.315.59 \|v 3
700		1	\|a Гаврилов \|b Р. А. \|g Роман Александрович
701		1	\|a Скворцов \|b А. М. \|g Альберт Матвеевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20111208
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20120810 \|g RCR
942			\|c BK