Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Красников Г. Я. Геннадий Яковлевич
Sumari:	В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Техносфера, 2011
Edició:	2-е изд., испр.
Col·lecció:	Мир электроники
Matèries:	Полевые транзисторы субмикронные МОП-транзисторы масштабирование принципы ограничения подзатворные диэлектрики формирование сток-истоковые области каналы структура затворы надежность технологические процессы
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=202390

Ítems similars

Ч. 1; Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Publicat: (2002)

Параметры и предельные режимы работы транзисторов
per: Николаевский И. Ф. Иосиф Федорович
Publicat: (Москва, Советское радио, 1971)

Применение полевых транзисторов: пер. с англ.
per: Гозлинг В. Вильям
Publicat: (Москва, Энергия, 1970)

Зарубежные транзисторы, диоды. 1N...60000: справочник
Publicat: (Санкт-Петербург, Наука и техника, 1999)

Схемные применения МОП-транзисторов: пер. с англ.
per: Кроуфорд Р. Г. Роберт
Publicat: (Москва, Мир, 1970)

Компоненты МОП-интегральных микросхем
per: Румак Н. В. Николай Владимирович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1991)

Энциклопедия устройств на полевых транзисторах
Publicat: (Москва, Солон-Р, 2002)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Publicat: (2006)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Publicat: (Москва, Энергия, 1972)

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро-и наноэлектронике
per: Денисенко В. В. Виктор Васильевич
Publicat: (Москва, Физматлит, 2010)

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро-и наноэлектронике
per: Денисенко В. В.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2010)

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро- и наноэлектронике
per: Денисенко В. В.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2010)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Publicat: (Москва, Энергия, 1977)

Электрические параметры нано-моп транзисторов учебное пособие для вузов
per: Петров Б. К.
Publicat: (Воронеж, ВГУ, 2012)

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов: В 2 ч.
per: Красников Г. Я. Геннадий Яковлевич
Publicat: (Москва, Техносфера, 2002)

Моделирование компонентов и элементов интегральных схем
per: Петров М. Н.
Publicat: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)

Мощные высоковольтные полевые транзисторы семейства CoolMOS; Схемотехника; № 2
per: Давиденко Ю.
Publicat: (2004)

Физика сверхбыстродействующих транзисторов
per: Пожела Ю. К. Юрас Карлович
Publicat: (Вильнюс, Мокслас, 1985)

Основы проектирования субмикронных микросхем
per: Белоус А. И. Анатолий Иванович
Publicat: (Москва, Техносфера, 2021)

Цифровые устройства на МОП-интегральных микросхемах
per: Бирюков С. А. Сергей Алексеевич
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1990)

Твердотельная электроника. Ч.2 Учебное пособие
per: Базылев В. К.
Publicat: (Рязань, РГРТУ, 2011)

Физика силовых биполярных и полевых транзисторов: пер. с англ.
per: Блихер А. Адольф
Publicat: (Ленинград, Энергоатомиздат, 1986)

Анализ работы и применение активных полупроводниковых элементов: учебное пособие
per: Данилов В. С. Вячеслав Семенович
Publicat: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2014)

Основы схемотехники микроэлектронных устройств
per: Белоус А. И. Анатолий Иванович
Publicat: (Москва, Техносфера, 2012)

Теория и применение полевых транзисторов: пер. с англ.
per: Кобболд Р.
Publicat: (Ленинград, Энергия, 1975)

Параметры и свойства полевых транзисторов
per: Малин Б. В. Борис Владимирович
Publicat: (Москва, Энергия, 1967)

Элементы интегральных схем: пер. с англ.
per: Маллер Р. Ричард
Publicat: (Москва, Мир, 1989)

Основы проектирования субмикронных микросхем
per: Белоус А. И.
Publicat: (Москва, Техносфера, 2020)

Генераторы прямоугольных импульсов на МОП-элементах: пер. с болг.
per: Волков С. Стефан
Publicat: (Москва, Энергоиздат, 1981)

Эксплуатационные параметры и особенности применения полевых транзисторов
per: Игумнов Д. В. Дмитрий Васильевич
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1981)

Современные зарубежные транзисторы: Справочник
Publicat: (Москва, Солон-Р, 2000)

Физика быстродействующих транзисторов: Монография
per: Пожела Ю. К. Юрас Карлович
Publicat: (Вильнюс, Мокслас, 1989)

Основы теории транзисторов
per: Спиридонов Н. С. Николай Спиридонович
Publicat: (Киев, Техниiка, 1975)

Полевые транзисторы серии КП727; Радио; № 1
per: Киселёв В.
Publicat: (2002)

МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов: сборник лекций; пер. с англ.
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1988)

Измерения параметров транзисторов: пер. с польск.
per: Столярский Э. Эдвард
Publicat: (Москва, Советское радио, 1976)

Силовая полупроводниковая элементная база учебное пособие для аспирантов по направлению 13.06.01 — «электро- и теплотехника» профиля «силовая электроника»
per: Сергеев Б. С.
Publicat: (Екатеринбург, 2018)

Стабильные автогенераторы метровых и дециметровых волн
per: Шитиков Г. Т. Георгий Трофимович
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1983)

Полупроводниковые приборы. Транзисторы. Дополнение второе: Справочник
per: Петухов В. М. Валерий Матвеевич
Publicat: (Москва, Рикел, 1995)

Методы расчета транзисторов
per: Трутко А. Ф. Анатолий Федорович
Publicat: (Москва, Энергия, 1971)