Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Opis bibliograficzny
1. autor:	Красников Г. Я. Геннадий Яковлевич
Streszczenie:	В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
Język:	rosyjski
Wydane:	Москва, Техносфера, 2011
Wydanie:	2-е изд., испр.
Seria:	Мир электроники
Hasła przedmiotowe:	Полевые транзисторы субмикронные МОП-транзисторы масштабирование принципы ограничения подзатворные диэлектрики формирование сток-истоковые области каналы структура затворы надежность технологические процессы
Format:	Książka
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=202390

Podobne zapisy

Ч. 1; Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Wydane: (2002)

Параметры и предельные режимы работы транзисторов
od: Николаевский И. Ф. Иосиф Федорович
Wydane: (Москва, Советское радио, 1971)

Применение полевых транзисторов: пер. с англ.
od: Гозлинг В. Вильям
Wydane: (Москва, Энергия, 1970)

Схемные применения МОП-транзисторов: пер. с англ.
od: Кроуфорд Р. Г. Роберт
Wydane: (Москва, Мир, 1970)

Компоненты МОП-интегральных микросхем
od: Румак Н. В. Николай Владимирович
Wydane: (Минск, Наука и техника, 1991)

Энциклопедия устройств на полевых транзисторах
Wydane: (Москва, Солон-Р, 2002)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Wydane: (2006)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Wydane: (Москва, Энергия, 1972)

Справочник по полупроводниковым диодам, транзисторам и интегральным схемам
Wydane: (Москва, Энергия, 1977)

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро-и наноэлектронике
od: Денисенко В. В. Виктор Васильевич
Wydane: (Москва, Физматлит, 2010)

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро-и наноэлектронике
od: Денисенко В. В.
Wydane: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2010)

Компактные модели МОП-транзисторов для SPICE в микро- и наноэлектронике
od: Денисенко В. В.
Wydane: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2010)

Электрические параметры нано-моп транзисторов учебное пособие для вузов
od: Петров Б. К.
Wydane: (Воронеж, ВГУ, 2012)

Моделирование компонентов и элементов интегральных схем
od: Петров М. Н.
Wydane: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)

Мощные высоковольтные полевые транзисторы семейства CoolMOS; Схемотехника; № 2
od: Давиденко Ю.
Wydane: (2004)

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов: В 2 ч.
od: Красников Г. Я. Геннадий Яковлевич
Wydane: (Москва, Техносфера, 2002)

Основы проектирования субмикронных микросхем
od: Белоус А. И. Анатолий Иванович
Wydane: (Москва, Техносфера, 2021)

Физика сверхбыстродействующих транзисторов
od: Пожела Ю. К. Юрас Карлович
Wydane: (Вильнюс, Мокслас, 1985)

Твердотельная электроника. Ч.2 Учебное пособие
od: Базылев В. К.
Wydane: (Рязань, РГРТУ, 2011)

Цифровые устройства на МОП-интегральных микросхемах
od: Бирюков С. А. Сергей Алексеевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1990)

Анализ работы и применение активных полупроводниковых элементов: учебное пособие
od: Данилов В. С. Вячеслав Семенович
Wydane: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2014)

Физика силовых биполярных и полевых транзисторов: пер. с англ.
od: Блихер А. Адольф
Wydane: (Ленинград, Энергоатомиздат, 1986)

Основы схемотехники микроэлектронных устройств
od: Белоус А. И. Анатолий Иванович
Wydane: (Москва, Техносфера, 2012)

Теория и применение полевых транзисторов: пер. с англ.
od: Кобболд Р.
Wydane: (Ленинград, Энергия, 1975)

Параметры и свойства полевых транзисторов
od: Малин Б. В. Борис Владимирович
Wydane: (Москва, Энергия, 1967)

Элементы интегральных схем: пер. с англ.
od: Маллер Р. Ричард
Wydane: (Москва, Мир, 1989)

Генераторы прямоугольных импульсов на МОП-элементах: пер. с болг.
od: Волков С. Стефан
Wydane: (Москва, Энергоиздат, 1981)

Основы проектирования субмикронных микросхем
od: Белоус А. И.
Wydane: (Москва, Техносфера, 2020)

Эксплуатационные параметры и особенности применения полевых транзисторов
od: Игумнов Д. В. Дмитрий Васильевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1981)

Физика быстродействующих транзисторов: Монография
od: Пожела Ю. К. Юрас Карлович
Wydane: (Вильнюс, Мокслас, 1989)

МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов: сборник лекций; пер. с англ.
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1988)

Полевые транзисторы серии КП727; Радио; № 1
od: Киселёв В.
Wydane: (2002)

Силовая полупроводниковая элементная база учебное пособие для аспирантов по направлению 13.06.01 — «электро- и теплотехника» профиля «силовая электроника»
od: Сергеев Б. С.
Wydane: (Екатеринбург, 2018)

Основы теории транзисторов
od: Спиридонов Н. С. Николай Спиридонович
Wydane: (Киев, Техниiка, 1975)

Стабильные автогенераторы метровых и дециметровых волн
od: Шитиков Г. Т. Георгий Трофимович
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1983)

Полупроводниковые приборы. Транзисторы. Дополнение второе: Справочник
od: Петухов В. М. Валерий Матвеевич
Wydane: (Москва, Рикел, 1995)

Полупроводниковые приборы. Транзисторы: справочник
Wydane: (Москва, Энергоатомиздат, 1983)

Взаимозаменяемые транзисторы
od: Петухов В. М. Владимир Матвеевич
Wydane: (Москва, РадиоСофт, 2010)

Т. 3; Зарубежные транзисторы и их аналоги
Wydane: (2000)

Измерения параметров транзисторов: пер. с польск.
od: Столярский Э. Эдвард
Wydane: (Москва, Советское радио, 1976)