|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
202390 |
| 005 |
20231101225105.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785948362892
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\220547
|
| 090 |
|
|
|a 202390
|
| 100 |
|
|
|a 20111011d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
|f Г. Я. Красников
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд., испр.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Техносфера
|d 2011
|
| 215 |
|
|
|a 800 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Мир электроники
|
| 330 |
|
|
|a В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полевые транзисторы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50057
|9 68814
|
| 610 |
1 |
|
|a субмикронные МОП-транзисторы
|
| 610 |
1 |
|
|a масштабирование
|
| 610 |
1 |
|
|a принципы
|
| 610 |
1 |
|
|a ограничения
|
| 610 |
1 |
|
|a подзатворные диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a сток-истоковые области
|
| 610 |
1 |
|
|a каналы
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a затворы
|
| 610 |
1 |
|
|a надежность
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.3
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Красников
|b Г. Я.
|g Геннадий Яковлевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111011
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150610
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Электроника
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 85/20110928
|d 2
|e 0,00
|f ЧЗТЛ:1
|f АНЛ:1
|
