|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
200499 |
| 005 |
20231101224946.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-73854
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\218575
|
| 090 |
|
|
|a 200499
|
| 100 |
|
|
|a 20110908d1985 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a LT
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах
|e материалы VII-ой Международной конференции, 26-28 сентября 1983 г. г. Вильнюс
|f Вильнюсский государственный университет; под ред. З. В. Янушкявичюса
|
| 210 |
|
|
|a Вильнюс
|c Изд-во Вильнюсского ун-та
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 360 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a теория
|
| 610 |
1 |
|
|a исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a конференции
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:539.(063)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Янушкявичюс
|b З. В.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Вильнюсский государственный университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11994
|9 25315
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах
|b Международная конференция
|d 7
|e Вильнюс
|f 1983
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110908
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111107
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
