Шпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, & Соловьёв А. А. (2009). Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой. 2009.
Chicago Style (17th ed.) CitationШпакова Н. Ю., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, and Соловьёв А. А. Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой. 2009, 2009.
MLA (9th ed.) CitationШпакова Н. Ю., et al. Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой. 2009, 2009.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.