Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009.— 978-5-98298-544-6 Т. 1.— 2009.— С. 283-285
Main Author:	Шелепова М. А.
Other Authors:	Тумашевская А. Е. (727), Корженко Д. В., Юрьев Ю. Н.
Language:	Russian
Published:	2009
Subjects:	магнетроны дуальные магнетроны магнитное поле оптимизация распылительные системы труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199761

Similar Items

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (2009)

Оптимизация конструкции магнетрона протяжённой конфигурации
by: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Published: (2009)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
by: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Published: (2008)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2022)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Published: (2018)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Published: (2014)

Локальная устойчивость колебаний магнетрона со связанными резонаторами
by: Заревич А. И. Антон Иванович
Published: (2013)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2012)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Published: (2019)

Оптимизация магнетронного источника плазмы
by: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Published: (2009)

Катодный узел импульсно-периодического релятивистского магнетрона
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (2017)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Транзисторный модулятор сверхвысокочастотного магнетрона
Published: (2004)

Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода
by: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Published: (2010)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана
by: Бутько Я. А. Яна Александровна
Published: (2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Исследование выхода электронов из разряда в магнитном поле Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Гутова Л. А.
Published: (Томск, 1969)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона
by: Митюшкина В. Ю.
Published: (2000)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона
by: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Published: (2023)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2014)

Коаксиальный магнетрон дециметрового диапазона длин волн с выходной импульсной мощностью пер. с англ.
Published: (Москва, Институт " Электроника ", 1968)

Генераторный СВЧ-модуль на основе магнетрона Х-диапазона частот и резонансного СВЧ-компрессора
Published: (2014)

Резонансная СВЧ-компрессия выходных импульсов магнетронов миллиметрового диапазона длин волн
Published: (2013)

Релятивистский магнетрон
by: Юшков Ю. Г. Юрий Георгиевич
Published: ()

Исследовние релятивистского магнетрона с питанием от сильноточного линейного индукционного ускорителя
Published: (2003)

Импульсно-периодический релятивистский магнетрон
Published: (2000)

Модификация элементов релятивистского магнетрона
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (2013)

Релятивистские магнетроны
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (Москва, Физматлит, 2013)

Релятивистский магнетрон с внешней связью резонаторов
by: Заревич А. И. Антон Иванович
Published: (2002)

Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2011)

Основы использования магнетронов
Published: (Москва, Советское радио, 1967)

Система экстремального управления магнетроном в резонаторной системе
by: Буркин Е. Ю. Евгений Юрьевич
Published: (2014)

Когерентные процессы в системе двух связанных релятивистских магнетронов
Published: (1995)

Перспективные создания Х-диапазоне частот генераторных СВЧ-модулей на основе безнакальных магнетронов и резонансных СВЧ-компрессоров
by: Скрипкин Н. И.
Published: (2014)

Решение уравнений движения электронов в релятивистском магнетроне плоской геометрии
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (2017)

Радиоактивационный контроль плотности износостойких покрытий AlN и CrN на кремнии
Published: (2021)