Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления

מידע ביבליוגרפי
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009
Т. 1.— 2009.— С. 172-175
מחבר ראשי: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
מחברים אחרים: Цеунов А. П. (727), Ермолович И. М., Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
יצא לאור: 2009
נושאים:
פורמט: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199652

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 199652
005 20231031184401.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\217688 
090 |a 199652 
100 |a 20110822d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления  |f Н. С. Морозова, А. П. Цеунов, И. М. Ермолович  |g науч. рук. В. Ф. Пичугин 
320 |a Библиогр.: 2 назв. 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\209177  |t Перспективы развития фундаментальных наук   |o труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г.  |o в 2 т.  |f Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой  |d 2009 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\208765  |y 978-5-98298-546-0  |t Т. 1  |v С. 172-175  |d 2009  |p 542 с. 
610 1 |a тонкие плёнки 
610 1 |a оксид титана 
610 1 |a магнетронное распыление 
610 1 |a физико-механические свойства 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Морозова  |b Н. С.  |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики  |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета  |g Наталья Сергеевна  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689 
701 1 |a Цеунов  |b А. П. 
701 1 |a Ермолович  |b И. М. 
702 1 |a Пичугин  |b В. Ф.  |c российский физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1944-  |g Владимир Федорович  |2 stltpush  |4 727 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20110822 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20130508  |g RCR 
942 |c BK