Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009 Т. 1.— 2009.— С. 172-175 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , , |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199652 |
| Description not available. |