Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009.— 978-5-98298-544-6 Т. 1.— 2009.— С. 159-161
Main Author:	Лязгин А. О.
Other Authors:	Козельская А. И. Анна Ивановна (727), Панин А. В.
Published:	2009
Subjects:	отжиг температура плёнки тонкие плёнки медь металлизация магнетронное напыление подложки труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199646

Similar Items

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
by: Лязгин А. О.
Published: (2010)

Влияние отжига на структурные, магнитные и релаксационные свойства композитных плёнок
Published: (2011)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки
by: Цзи Синьюй
Published: (2023)

Деградация плёнок Cu/полиимид в процессе термического отжига
by: Лязгин А. О.
Published: (2010)

Методы напыления ультратонких металлических пленок
by: Тесленок А. В.
Published: (2015)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
by: Патрушева Т. Н.
Published: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Исследование полупроводниковых пленок Cu2S методами атомно-силовой микроскопии
by: Дронова М. В.
Published: (2014)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2018)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Методики получения металлических наноструктур на поликарбонатных подложках
by: Дуброва Н. А. Наталья Александровна
Published: (2009)

Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок монография
by: Александров Л. Н. Леонид Наумович
Published: (Новосибирск, Наука, 1978)

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
by: Антоненко С. В.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Отработка методов контроля технологических режимов для получения стабильных элементов гибридных интегральных схем частного применения отчет о НИР тема: № 96/71
Published: (Томск, 1973)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
Published: (2013)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Магнитооптика тонких пленок
by: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Published: (Москва, Наука, 1988)

Технология толстых и тонких пленок пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
by: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Published: (2019)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
by: Целовальникова А. Е.
Published: (2019)

Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане
by: Чэнь Ле
Published: (2013)

Изучение тонких пленок Cuo и Cu2O методом позитронной аннигиляции
by: Арефьев К. П. Константин Петрович
Published: (1976)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом Отчет о НИР Тема : № х/д № 113/67
Published: (Томск, 1970)

Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.10
by: Милахин Д. С. Денис Сергеевич
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Измерение сопротивления контактов металл-полупроводник и контроль удельного сопротивления полупроводниковых пленок
by: Филлипов В. В.
Published: (2003)

Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок труды всесоюзного симпозиума по аппаратуре и методам исследования тонких магнитных пленок, Красноярск, 20-27 июля 1967 г.
Published: (Красноярск, [Б. и.], 1968)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Якутск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения
by: Шлома Ю. П.
Published: (2014)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)

Получение и свойства тонких пленок сборник научных трудов
Published: (Киев, Наукова думка, 1982)

Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
by: Вишникина В. В.
Published: (2012)

Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов
Published: (2012)

Программный пакет для исследований структурных неоднородности органических пленок, полученных напылением
by: Иващенко В. Е.
Published: (2011)