Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1

Библиографические подробности
Источник:	Перспективы развития фундаментальных наук: труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г./ Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой.— , 2009.— 978-5-98298-544-6 Т. 1.— 2009.— С. 159-161
Главный автор:	Лязгин А. О.
Другие авторы:	Козельская А. И. Анна Ивановна (научный руководитель), Панин А. В.
Язык:	русский
Опубликовано:	2009
Предметы:	отжиг температура плёнки тонкие плёнки медь металлизация магнетронное напыление подложки труды учёных ТПУ
Формат:	Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199646

Схожие документы

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
по: Лязгин А. О.
Опубликовано: (2010)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
по: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1979)

Т. 1; Технология тонких пленок
Опубликовано: (1977)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
по: Владимирова Л. Н.
Опубликовано: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Вакуумное нанесение тонких пленок
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1967)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Петрова Ю. С.
Опубликовано: (2009)

Влияние отжига на структурные, магнитные и релаксационные свойства композитных плёнок; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Опубликовано: (2011)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
по: Патрушева Т. Н.
Опубликовано: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
по: Строкань Г. П.
Опубликовано: (2003)

Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
по: Цзи Синьюй
Опубликовано: (2023)

Исследование полупроводниковых пленок Cu2S методами атомно-силовой микроскопии; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Дронова М. В.
Опубликовано: (2014)

Методы напыления ультратонких металлических пленок; Высокие технологии в современной науке и технике
по: Тесленок А. В.
Опубликовано: (2015)

Деградация плёнок Cu/полиимид в процессе термического отжига; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Лязгин А. О.
Опубликовано: (2010)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
по: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубликовано: (Томск, 2023)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2018)

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
по: Антоненко С. В.
Опубликовано: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок: монография
по: Александров Л. Н. Леонид Наумович
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1978)

Методики получения металлических наноструктур на поликарбонатных подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Дуброва Н. А. Наталья Александровна
Опубликовано: (2009)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2014)

Отработка методов контроля технологических режимов для получения стабильных элементов гибридных интегральных схем частного применения: отчет о НИР; тема: № 96/71
Опубликовано: (Томск, 1973)

Микроструктурирование тонких пленок
Опубликовано: (Москва, Наука, 1991)

Магнитооптика тонких пленок
по: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Опубликовано: (Москва, Наука, 1988)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Опубликовано: (2013)

Т. 2; Технология тонких пленок
Опубликовано: (1977)

Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Мир, 1972)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Опубликовано: (2019)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
по: Терехов А. И.
Опубликовано: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
по: Васильев В. Ю.
Опубликовано: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
по: Милахин Д. С. Денис Сергеевич
Опубликовано: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67
Опубликовано: (Томск, 1970)

Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок: труды всесоюзного симпозиума по аппаратуре и методам исследования тонких магнитных пленок, Красноярск, 20-27 июля 1967 г.
Опубликовано: (Красноярск, [Б. и.], 1968)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Шлома Ю. П.
Опубликовано: (2014)

Изучение тонких пленок Cuo и Cu2O методом позитронной аннигиляции; Кристаллография; Т. 21, вып. 5
по: Арефьев К. П. Константин Петрович
Опубликовано: (1976)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
по: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубликовано: (Якутск, 2023)

Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Чэнь Ле
Опубликовано: (2013)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Целовальникова А. Е.
Опубликовано: (2019)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
по: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубликовано: (Томск, 2023)

Измерение сопротивления контактов металл-полупроводник и контроль удельного сопротивления полупроводниковых пленок; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 7
по: Филлипов В. В.
Опубликовано: (2003)

Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия; Электронные приборы, системы и технологии
по: Вишникина В. В.
Опубликовано: (2012)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
Опубликовано: (Киев, Наукова думка, 1982)