|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
199646 |
| 005 |
20250829122114.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\217682
|
| 090 |
|
|
|a 199646
|
| 100 |
|
|
|a 20110822d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
|f А. О. Лязгин, А. И. Козельская
|g науч. рук. А. В. Панин
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 4 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\209177
|y 978-5-98298-544-6
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|o труды VI Международной конференции студентов и молодых ученых, Томск, 26 - 29 мая 2009 г.
|o в 2 т.
|f Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Г. А. Вороновой
|d 2009
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\208765
|y 978-5-98298-546-0
|t Т. 1
|v С. 159-161
|d 2009
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a температура
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a медь
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Лязгин
|b А. О.
|
| 701 |
|
1 |
|a Козельская
|b А. И.
|c физик
|c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1985-
|g Анна Ивановна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\39662
|9 21043
|
| 702 |
|
1 |
|a Панин
|b А. В.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110822
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171018
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
