Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками; Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии
| Parent link: | Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии.— 1983.— С. 39-55 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
1983
|
| Témata: | |
| Médium: | MixedMaterials Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199352 |