Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками; Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии
| Parent link: | Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии.— 1983.— С. 39-55 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
1983
|
| Matèries: | |
| Format: | Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199352 |