Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками; Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии
| Parent link: | Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии.— 1983.— С. 39-55 |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Altri autori: | |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
1983
|
| Soggetti: | |
| Natura: | xMaterials Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199352 |