Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии: сборник научных статей/ Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; под ред. Г. А. Месяца. С. 39-55.— , 1983
Autor Principal:	Лебедева Н. И.
Outros autores:	Месяц Г. А. Геннадий Андреевич
Idioma:	ruso
Publicado:	1983
Subjects:	труды учёных ТПУ
Formato:	Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199352

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	199352
005	20231031184210.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\217380
090			\|a 199352
100			\|a 20110802d1983 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками \|f Н. И. Лебедева, Г. А. Месяц
320			\|a Библиогр.: с. 53-55 (39 назв.)
463		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\217375 \|t Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии \|o сборник научных статей \|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; под ред. Г. А. Месяца \|v С. 39-55 \|d 1983 \|p 168 с.
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Лебедева \|b Н. И.
701		1	\|a Месяц \|b Г. А. \|c российский физик \|c академик, вице-президент РАН \|c выпускник Томского политехнического института \|f 1936- \|g Геннадий Андреевич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\17099 \|4 070
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20110802
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20160609 \|g RCR
942			\|c BK