Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками; Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии
| Parent link: | Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии.— 1983.— С. 39-55 |
|---|---|
| Glavni avtor: | |
| Drugi avtorji: | |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
1983
|
| Teme: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=199352 |
| Opisa ni na voljo. |