Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие

Détails bibliographiques
Auteur principal: Зебрев Г. И. Геннадий Иванович
Résumé:Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур".
Langue:russe
Publié: Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011
Collection:Нанотехнологии
Sujets:
Format: Livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=197278

Documents similaires