Физические основы кремниевой наноэлектроники, учебное пособие
| 第一著者: | |
|---|---|
| 要約: | Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур". |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011
|
| シリーズ: | Нанотехнологии |
| 主題: | |
| フォーマット: | 図書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=197278 |
| 物理的記述: | 240 с. ил. |
|---|---|
| 要約: | Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур". |
| ISBN: | 9785996301812 |