Физика субмикронной литографии

Физика субмикронной литографии

Bibliographic Details
Main Author:	Валиев К. А. Камиль Ахметович
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1990
Subjects:	микролитография электронные пучки физика быстрые движения быстрые электроны взаимодействие с веществом ионно-лучевая литография рентгеновская фотолитография оптическая литография
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=196471

Similar Items

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Радио и связь, 1984)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Published: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Искусство литографии практическое руководство для художников
by: Суворов П. И. Петр Иванович
Published: (Москва, Искусство, 1964)

Искусство литографии практическое руководство для художников
by: Суворов П. И. Петр Иванович
Published: (Москва, Искусство, 1952)

Ч. 2
Published: (1990)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Ч. 1
Published: (1990)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
by: Сергеев В. А.
Published: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
by: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Разработка и создание программ расчета прохождения электронного пучка конечных размеров в слабопроводящих средах Итоговый отчет о НИР Тема: х/д 0-31/77
Published: (Томск, 1979)

Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
by: Орликов Л. Н.
Published: (Москва, ТУСУР, 2018)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 1987)

Техническая физика быстрых реакторов с натриевым теплоносителем учебное пособие для вузов
by: Матвеев В. И. Вячеслав Иванович
Published: (Москва, Изд-во МЭИ, 2012)

LIGA-технология
by: Родионова Е. А.
Published: (2009)

Разработка, исследование и внедрение радиационного метода дефектоскопии слоистых материалов быстрыми электронами Отчет о НИР Тема : х/д № 166/67; №7/69
Published: (Томск, 1969)

Нейтронные измерения
by: Ярицына И. А. Ирина Александровна
Published: (Москва, Изд-во стандартов, 1972)

Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
by: Букатин А. С.
Published: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом [Лекции] пер. с англ.
Published: (Москва, Высшая школа, 1994)

Liga method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio
Published: (2018)

Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes
by: Geynts Yu. E. Yury Elmarovich
Published: (2022)

Статьи ректора института А. А. Воробьева за 1968 год
Published: (Томск, 1968)

Физические основы микроэлектроники учебник для вузов
by: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Published: (Москва, Академия, 2008)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Ориентационные эффекты при скользящем взаимодействии быстрых электронов с диэлектрическими поверхностями
Published: (2015)

Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
by: Круглов А. В.
Published: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)

Модификация поверхности - путь к магнитной памяти
Published: (2002)

Ориентационные эффекты рассеяния быстрых электронов в щелочногалоидных монокристаллах Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Бабудаев А. Я.
Published: (Томск, 1973)

Поляризационные свойства излучения быстрых электронов с ориентированным спином в магнитном поле
by: Тернов И. М. Игорь Михайлович
Published: (1963)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
by: Курочка С. П.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Разработка и исследование бетатрона с выводом пучка для радиационного контроля материалов и изделий быстрыми электронами Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Савельев Б. Ф.
Published: (Томск, 1971)

Радиационное накопление заряда в твердых диэлектриках и методы его диагностики
by: Боев С. Г. Сергей Григорьевич
Published: (Москва, Энергоиздат, 1991)

Рентгеновская оптика сборник статей
Published: (Москва, Наука, 1989)

Терапия быстрыми нейтронами в онкологии
by: Мусабаева Л. И. Людмила Ивановна
Published: (2015)

Asymmetry in generation of near-surface X-rays by 33 MeV electrons at grazing interaction with a thin Si plate in magnetic field
by: Kaplin V. V. Valery Viktorovich
Published: (2015)

Некоторые вопросы теории рассеяния быстрых частиц в веществе и во внешних полях
by: Шульга Н. Ф. Николай Федорович
Published: (Киев, Наукова думка, 2010)

6.3 MeV fast neutrons in the treatment of patients with locally advanced and locally recurrent breast cancer
Published: (2016)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs
Published: (2006)

Количественные закономерности и дозиметрия в радиобиологии публикация 30 МКРЕ пер. с англ.
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1984)

Application of Digital Auskultometer in Radiotherapy
by: Aleinik A. N. Aleksandr Nikonorovich
Published: (2015)