Физика субмикронной литографии

Библиографические подробности
Главный автор:	Валиев К. А. Камиль Ахметович
Язык:	русский
Опубликовано:	Москва, Наука, 1990
Предметы:	микролитография электронные пучки физика быстрые движения быстрые электроны взаимодействие с веществом ионно-лучевая литография рентгеновская фотолитография оптическая литография
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=196471

Схожие документы