Физика субмикронной литографии

類似資料

• Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
  著者:: Валиев К. А. Камиль Ахметович
  出版事項: (Москва, Радио и связь, 1984)
• Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
  出版事項: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)
• Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
  著者:: Юрчук С. Ю.
  出版事項: (Москва, МИСИС, 2013)
• Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
  出版事項: (1990)
• Искусство литографии: практическое руководство для художников
  著者:: Суворов П. И. Петр Иванович
  出版事項: (Москва, Искусство, 1964)