|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
196471 |
| 005 |
20231031183113.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020143812
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 90-69260
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\214341
|
| 090 |
|
|
|a 196471
|
| 100 |
|
|
|a 20110524d1990 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физика субмикронной литографии
|f К. А. Валиев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 528 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав
|
| 610 |
1 |
|
|a микролитография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a быстрые движения
|
| 610 |
1 |
|
|a быстрые электроны
|
| 610 |
1 |
|
|a взаимодействие с веществом
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая литография
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгеновская фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a оптическая литография
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.75
|z rus
|
| 700 |
|
1 |
|a Валиев
|b К. А.
|g Камиль Ахметович
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110524
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110526
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
