Валиев К. А. Камиль Ахметович. (1990). Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990.
Citace podle Chicago (17th ed.)Валиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
Citace podle MLA (9th ed.)Валиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..