Валиев К. А. Камиль Ахметович. (1990). Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990.
Chicago Style (17. basım) AtıfВалиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
MLA (9th ed.) AtıfВалиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..