Валиев К. А. Камиль Ахметович. (1990). Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingВалиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
MLA (9e ed.) BronvermeldingВалиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.