Валиев К. А. Камиль Ахметович. (1990). Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990.
Chicago Style (17th ed.) CitationВалиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
MLA (9th ed.) CitationВалиев К. А. Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии. Москва, Наука, 1990, 1990.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.