Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Геллер В. М. Владимир Михайлович
Andere auteurs:	Хрусталев В. А. Владимир Александрович
Samenvatting:	Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2011
Editie:	2-е изд., перераб. и доп.
Reeks:	Монографии НГТУ
Onderwerpen:	Электроника плазменная энергообмен массообмен приборно-реактивные среды технологические процессы модельные представления электронное приборостроение реакторные комплексы энергообеспечение плазмохимические реакторы конструкции низкотемпературная плазма генераторы плазменные процессы термические процессы монографии
Formaat:	Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=195950