Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Геллер В. М. Владимир Михайлович
Altres autors: Хрусталев В. А. Владимир Александрович
Sumari:Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и кон­структоров, работающих в области электронного приборостроения.
Idioma:rus
Publicat: Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2011
Edició:2-е изд., перераб. и доп.
Col·lecció:Монографии НГТУ
Matèries:
Format: Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=195950

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 195950
005 20231101224646.0
010 |a 9785778215597 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\213766 
090 |a 195950 
100 |a 20110517d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения  |f В. М. Геллер, В. А. Хрусталев 
205 |a 2-е изд., перераб. и доп. 
210 |a Новосибирск  |c Изд-во НГТУ  |d 2011 
215 |a 298 с.  |c ил. 
225 1 |a Монографии НГТУ 
320 |a Библиогр.: с. 284-293. 
330 |a Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и кон­структоров, работающих в области электронного приборостроения. 
606 1 |a Электроника плазменная  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20333  |9 45442 
610 1 |a энергообмен 
610 1 |a массообмен 
610 1 |a приборно-реактивные среды 
610 1 |a технологические процессы 
610 1 |a модельные представления 
610 1 |a электронное приборостроение 
610 1 |a реакторные комплексы 
610 1 |a энергообеспечение 
610 1 |a плазмохимические реакторы 
610 1 |a конструкции 
610 1 |a низкотемпературная плазма 
610 1 |a генераторы 
610 1 |a плазменные процессы 
610 1 |a термические процессы 
610 1 |a монографии 
675 |a 621.387.14  |v 3 
700 1 |a Геллер  |b В. М.  |g Владимир Михайлович 
701 1 |a Хрусталев  |b В. А.  |g Владимир Александрович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20110517 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150610  |g RCR 
900 |a Плазменные процессы и технологии 
942 |c BK 
959 |a 51/20110517  |d 1  |e 472,00  |f ЧЗТЛ:1 
959 |a 71/20120511  |d 2  |e 472,00  |f ЧЗТЛ:1  |f АНЛ:1