|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
194814 |
| 005 |
20231031182449.0 |
| 010 |
|
|
|a 5229003413
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\212491
|
| 090 |
|
|
|a 194814
|
| 100 |
|
|
|a 20110423d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Жидкофазная эпитаксия кремния
|f Л. В. Кожитов [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 200 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 195-201.
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазная эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a смачивание расплавами
|
| 610 |
1 |
|
|a конструкционные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовое равновесие
|
| 610 |
1 |
|
|a расплавы
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a массоперенос
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Кожитов
|b Л. В.
|g Лев Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Липатов
|b В. В.
|g Владимир Владимирович
|
| 701 |
|
1 |
|a Тимошин
|b А. С.
|g Анатолий Семенович
|
| 701 |
|
1 |
|a Волков
|b М. П.
|g Михаил Петрович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110423
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160802
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
