Жидкофазная эпитаксия кремния

Бібліографічні деталі
Інші автори:	Кожитов Л. В. Лев Васильевич, Липатов В. В. Владимир Владимирович, Тимошин А. С. Анатолий Семенович, Волков М. П. Михаил Петрович
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Металлургия, 1989
Предмети:	кремний жидкофазная эпитаксия смачивание расплавами конструкционные материалы фазовое равновесие расплавы физико-химические свойства кристаллизация массоперенос эпитаксиальные слои легирование
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194814

Опис
Фізичний опис:	200 с. ил.
ISBN:	5229003413

Схожі ресурси