Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика

מידע ביבליוגרפי
Parent link:Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000-
Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 86-88]
מחבר ראשי: Линник С. А. Степан Андреевич
מחברים אחרים: Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич, Шаманин И. В. Игорь Владимирович
סיכום:Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий.
שפה:רוסית
יצא לאור: 2011
סדרה:Математика и механика. Физика
נושאים:
גישה מקוונת:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v318/i2/18.pdf
פורמט: אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194661

פריטים דומים