Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 86-88] |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Shrnutí: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
2011
|
| Edice: | Математика и механика. Физика |
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v318/i2/18.pdf |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194661 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 194661 | ||
| 005 | 20231226105551.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\212318 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\212308 | ||
| 090 | |a 194661 | ||
| 100 | |a 20110420d2011 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий |f С. А. Линник, А. В. Гайдайчук, И. В. Шаманин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (148 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Математика и механика. Физика | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 88 (7 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\212166 |x 1684-8519 |t Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика |v [С. 86-88] |d 2011 |p 153 с. | |
| 610 | 1 | |a тлеющий разряд | |
| 610 | 1 | |a полые катоды | |
| 610 | 1 | |a плазмохимические реакции | |
| 610 | 1 | |a осаждение из газовой фазы | |
| 610 | 1 | |a азотирование | |
| 610 | 1 | |a поверхности | |
| 610 | 1 | |a модификация | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 700 | 1 | |a Линник |b С. А. |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1985- |g Степан Андреевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28210 |9 13164 | |
| 701 | 1 | |a Гайдайчук |b А. В. |c российский физик |c аспирант, инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1984- |g Александр Валерьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28207 |9 13161 | |
| 701 | 1 | |a Шаманин |b И. В. |c российский физик-ядерщик, специалист в области атомной энергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Игорь Владимирович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22022 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211227 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v318/i2/18.pdf | |
| 942 | |c CF | ||