Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика.— 2011.— [С. 86-88] |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Andre forfattere: | , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. |
| Udgivet: |
2011
|
| Serier: | Математика и механика. Физика |
| Fag: | |
| Online adgang: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2011/v318/i2/18.pdf |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=194661 |
| Fysisk beskrivelse: | 1 файл (148 Кб) |
|---|---|
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. |