|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
193720 |
| 005 |
20231101224517.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785423100421
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\211267
|
| 090 |
|
|
|a 193720
|
| 100 |
|
|
|a 20110328d2010 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Тенденции развития МЭМС
|f А. А. Резнев, В. Д. Вернер
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Амиант
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 275 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 268-272.
|
| 320 |
|
|
|a Аббревиатуры: с. 264-267.
|
| 606 |
1 |
|
|a Электромеханические системы
|x Миниатюризация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\70446
|9 84707
|
| 610 |
1 |
|
|a МЭМС-устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектромеханические системы
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a микромашины
|
| 610 |
1 |
|
|a микрообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a механические величины
|
| 610 |
1 |
|
|a чувствительные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a преобразователи
|
| 610 |
1 |
|
|a упругие актюаторные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a беспроводные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a источники энергии
|
| 610 |
1 |
|
|a реконфигурируемые системы
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизированное проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a испытание
|
| 610 |
1 |
|
|a унификация
|
| 610 |
1 |
|
|a стандартизация
|
| 675 |
|
|
|a 621.3
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Резнев
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Вернер
|b В. Д.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110328
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110404
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
