Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 317, № 4: Энергетика.— 2010.— [С. 115-120]
Main Author:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Summary:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок.
Language:	Russian
Published:	2010
Series:	Энергетика
Subjects:	электропривод сканирования автоматизированные системы управления АСУ управление вакуумное напыление установки труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2010/v317/i4/25.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192930

Similar Items

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Томск, 2010)

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.03
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Томск, 2010)

Новые процессы и оборудование для газотермического и вакуумного покрытия: сборник научных трудов
Published: (Киев, ИЭС им. Е. О. Патона, 1990)

Анализ систем сканирования в комптоновской томографии. Возможные области применения; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 306, № 1
Published: (2003)

Система активного сканирования грунта для оптимизации работы экскаватора; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Пудов Е. Ю.
Published: (2009)

Рабочий процесс спирального вакуумного насоса монография
by: Тюрин А. В.
Published: (Казань, КНИТУ, 2022)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Применение метода многоуглового сканирования для определения профиля электронного пучка; Концентрированные потоки энергии в космической технике,электронике, экологии и медицине
Published: (2023)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
by: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Published: (2003)

Система сканирования с применением двух позиционно-чувствительных детекторов; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Коновалов Н. В.
Published: (2005)

Защитные покрытия в авиадвигателестроении учебное пособие
by: Ильинкова Т. А.
Published: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2020)

Выбор конструкции вакуумного оборудования для сушки; Справочник. Инженерный журнал; № 11
by: Ковалёва Н. Л.
Published: (2003)

Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Модификация поверхности политетрафторэтилена путем напыления ВЧ-магнетронного покрытия на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Прямушко Т. С.
Published: (2014)

Теория и технология покрытий. Вакуумное конденсационное напыление покрытий учебное пособие
by: Анциферов В. Н.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2006)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2018)

Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Вакуумные установки: практикум
by: Сагдеев Д. И.
Published: (Казань, КНИТУ, 2019)

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2021)

Условия формирования биоактивных покрытий методом ВЧ магнетронного напыления на ПЭЭК; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ли В. И.
Published: (2021)

Разработка методики получения алюмооксидных систем методом вакуумного распыления; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Хрусталева К. А.
Published: ()

Литье методом вакуумного всасывания
by: Рыжков Н. Ф. Николай Федотович
Published: (Москва, Машиностроение, 1982)

Номенклатурный каталог на освоенные и серийно выпускаемые изделия вакуумного машиностроения на 1989 г.
Published: (Москва, ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1989)

Очистка вакуумного масла от трития методом изотопного обмена; Атомная энергия; Т. 98, вып. 2
Published: (2005)

Особенности формирования кальций-фосфатных покрытий методом ВЧ магнетронного напыления на имплантатах; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Твердохлебов С. И. Сергей Иванович
Published: (2012)

Разработка технологии высокоскоростного газотермического напыления покрытий на основе ультразвуковой подготовки поверхности основы; Актуальные проблемы современного материаловедения
by: Зайцев К. В. Константин Викторович
Published: (2009)

Изучение работы сканера Calibry и процесса постобработки полученных данных методические указания по выполнению лабораторных работ
by: Зуев В. В.
Published: (Москва, РТУ МИРЭА, 2022)

Вакуумная металлизация полимерных материалов
by: Липин Ю. В. Юрий Викторович
Published: (Ленинград, Химия, 1987)

Формирование электронного терапевтического пучка медицинского бетатрона КМБ-10; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Неразрушающий контроль и диагностика
by: Сорокин В. Б. Владимир Борисович
Published: (2008)

Влияние стратегии сканирования на свойства образцов, полученных из сплава AlSiMg методом селективного лазерного плавления; Инновационные технологии в машиностроении
by: Сапрыкина Н. А. Наталья Анатольевна
Published: (2025)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие
by: Мевис А. Ф.
Published: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование): учебное пособие
by: Бобров Г. В. Геннадий Васильевич
Published: (Москва, Интермет Инжиниринг, 2004)

Оборудование для высокоскоростного напыления; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
by: Зайцев К. В. Константин Викторович
Published: (2007)

Применение сервис-ориентированной архитектуры при интеграции систем управления технологическими процессами; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
by: Ткаченко Н. И.
Published: (2010)

Комплекс изображающих диагностических приборов вакуумного ультрафиолетового излучения для многопробочной ловушки ГОЛ-3; Приборы и техника эксперимента; № 2
Published: (2004)

Принципы построения многосегметного линейного детектора с распределённой обработкой данных в составе транспортёрной системы рентгеновского контроля; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Неразрушающий контроль и диагностика
Published: (2008)

Т. 2; Матричные солнечные элементы
Published: (2010)

Теория и технология получения наноструктурированных компактных материалов учебное пособие
by: Некрасова Т. В.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2013)