Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 317, № 4: Энергетика.— 2010.— [С. 115-120] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Sumari: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2010
|
| Col·lecció: | Энергетика |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2010/v317/i4/25.pdf |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=192930 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 192930 | ||
| 005 | 20231031181603.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\210360 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\210359 | ||
| 090 | |a 192930 | ||
| 100 | |a 20110311d2010 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления |b Электронный ресурс |f М. А. Нечаев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (150 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Энергетика | |
| 230 | |a Электронные текстовые данные (1 файл : 150 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 120 (3 назв.)] | ||
| 330 | |a Показано построение системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления с учетом особенностей кинематической схемы. На основании математической модели процесса роста толщины пленки и анализа особенностей технологического процесса сформулированы требования к электроприводу сканирования данных установок. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\210108 |t Т. 317, № 4: Энергетика |v [С. 115-120] |d 2010 |p 196 с. | |
| 610 | 1 | |a электропривод сканирования | |
| 610 | 1 | |a автоматизированные системы управления | |
| 610 | 1 | |a АСУ | |
| 610 | 1 | |a управление | |
| 610 | 1 | |a вакуумное напыление | |
| 610 | 1 | |a установки | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 700 | 1 | |a Нечаев |b М. А. |c специалист в области электротехники |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1977- |g Михаил Анатольевич |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27732 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211224 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2010/v317/i4/25.pdf | |
| 942 | |c CF | ||